文章详情
| 稿件标题： | 细长管筒内表面等离子体强化处理方法 |
| 稿件作者： | 杨光(33) |
| 栏目名称： | 四川兵工 |
| 关键词： | 细长管筒；内表面；强化改性 PECVD；PVD；PSII技术 |
| 文章摘要： | 介绍了几种细长管筒内表面等离子体强化改性方法：等离子体增强化学气相沉积方法、物理气相沉积方 法、等离子体源离子注入技术，并对共优缺点进行了比较分析 |
| 刊期名称： | 2009年11期 |
| 出版时间： | 2009年11月 |
| 上线时间： | 2009年11月28日 |
| 浏览次数： | 3302 |
| 下载次数： | 1 |
| 稿件标题： | 细长管筒内表面等离子体强化处理方法 |
| 稿件作者： | 杨光(33) |
| 栏目名称： | 四川兵工 |
| 关键词： | 细长管筒；内表面；强化改性 PECVD；PVD；PSII技术 |
| 文章摘要： | 介绍了几种细长管筒内表面等离子体强化改性方法：等离子体增强化学气相沉积方法、物理气相沉积方 法、等离子体源离子注入技术，并对共优缺点进行了比较分析 |
| 刊期名称： | 2009年11期 |
| 出版时间： | 2009年11月 |
| 上线时间： | 2009年11月28日 |
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