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| 稿件标题： | MEMS万向开关加工误差分析 |
| 稿件作者： | 邓鹏，吴玉斌，郝永平 |
| 栏目名称： | 机械制造与检测技术 |
| 关键词： | MEMS；万向开关；响应阈值；尺寸测量；加工误差 |
| 文章摘要： | 为了研究加工误差对万向开关响应阈值的影响，推导出了惯性开关响应阈值的计算公式，带入设计参数值计算得到的结果为391 g，对样品开关的实际响应阈值进行了冲击台跌落试验，实验结果220 g，误差-43.7%。对影响响应阈值的各项尺寸进行测量，其中S型悬臂梁的线宽B误差最明显，测量值26.4 μm，小于设计许可值30 μm，误差为-12%，由阈值公式，该误差引起的响应阈值误差高达-30%。最终得出结论，由于S型悬臂梁的线宽B尺寸较小，加工时容易产生较大误差，悬臂梁的刚度与线宽B的立方成正比，因此线宽B是影响开关响应阈值的主要因素。 |
| 引用本文格式： | 邓鹏，吴玉斌，郝永平. MEMS万向开关加工误差分析［J］.兵器装备工程学报，2016(10):110-113. DENG Peng, WU Yubin, HAO Yongping. Analysis of Fabracation Error on MEMS OmNidirectional Trigger［J］.Journal of Ordnance Equipment Engineering,2016(10):110-113. |
| 刊期名称： | 2016年10期 |
| 出版时间： | 2016年10月 |
| 上线时间： | 2016年10月28日 |
| 浏览次数： | 2776 |
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