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| 稿件标题： | 有源光缆的硅基90°转向芯片设计与制备 |
| 稿件作者： | 刘代军1，2,郭云芝1,穆学桢1,闫海涛3,谢占武3,张义飞1 |
| DOI： | 10.11809/bqzbgcxb2021.08.028 |
| 科学编辑： | 杨生胜 博士（ 中国空间技术研究院研究员、博士生导师） |
| 栏目名称： | 基础理论与应用研究 |
| 关键词： | 转向芯片，各向异性晶体蚀刻仿真；湿法刻蚀；V型槽；高反膜；耦合效率 |
| 文章摘要： | 从垂直腔激光器阵列到光纤阵列的高效耦合一直是高速有源光缆制备过程中的挑战。基于界面光波传输的相位匹配，根据界面的折射率的分布及波动传输方程，设计了41°转向角度的微反射镜。基于各向异性晶体蚀刻仿真，得到具有特定晶体取向的硅基微结构。在研究制备工艺的方法中，通过在含异丙醇有机添加剂的氢氧化钾溶液中硅各向异性湿法蚀刻制备了具有41°微反射镜的V型槽阵列，异丙醇表面活性剂在氢氧化钾溶液蚀刻硅过程中起关键作用。然后对获得的芯片进行表面粗糙度、轮廓和反射率的表征及测试，探索了膜层（TFCalc）的SiO2/Si高反射率介电膜的作用及效果，测试结果表明：所研制的芯片的反射率近100%，最高耦合效率在762 nm处，达92%。 |
| 稿件基金： | 航空科学基金项目（20182412009）;河南重大科技专项项目（171100210700） |
| 引用本文格式： | 刘代军,郭云芝,穆学桢，等.有源光缆的硅基90°转向芯片设计与制备［J］.兵器装备工程学报，2021，42(08)：175-179. LIU Daijun, GUO Yunzhi, MU Xuezhen, et al.Design and Fabrication of SiliconBased 90Degree BeamSteering Chip for Active Optical Cables［J］.Journal of Ordnance Equipment Engineering，2021，42(08)：175-179. |
| 刊期名称： | 2021年08期 |
| 出版时间： | 2021年8月 |
| 上线时间： | 2021年8月28日 |
| 浏览次数： | 2472 |
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