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| 稿件标题： | 太阳能硅片加工中重金属杂质沾污过程的研究 |
| 稿件作者： | 牛艳娥1，赵芃沛2，刘洋2,3，吕梅柏3 |
| DOI： | 10.11809/bqzbgcxb2021.10.044 |
| 科学编辑： | 周平 博士（大连理工大学副教授） |
| 栏目名称： | 化学工程与材料科学 |
| 关键词： | 太阳能硅片；重金属杂质；沾污；铜杂质；少子寿命 |
| 文章摘要： | 重金属杂质污染会对太阳能硅片性能及寿命产生显著的影响。因此，开展了太阳能硅片加工中的重金属杂质沾污产生过程研究。通过硅片切割清洗前后重金属杂质含量及硅片少子寿命的测试和分析，得出结论是：硅片的切割环节，尤其金刚线的使用是引入重金属杂质的主要原因，且树脂金刚线比电镀金刚线更易引入重金属杂质；相比铁和镍等重金属杂质，铜杂质较难清除；金属铜杂质及恶劣的环境（高温）对硅片少子寿命影响较大；经切割及沾污产生的金属铜杂质仅存在于硅片表面，可通过清洗消除，同时清洗及钝化处理可恢复硅片少子寿命。 |
| 稿件基金： | 陕西省榆林市2019年科技计划项目（2019-112-03） |
| 引用本文格式： | 牛艳娥，赵芃沛，刘洋，等.太阳能硅片加工中重金属杂质沾污过程的研究［J］.兵器装备工程学报，2021，42(10)：272-276. NIU Yan’e，ZHAO Pengpei，LIU Yang, et al.Study on Contamination Process of Heavy Metal Impurities in Solar Silicon Wafer Processing［J］.Journal of Ordnance Equipment Engineering，2021，42(10)：272-276. |
| 刊期名称： | 2021年10期 |
| 出版时间： | 2021年10月 |
| 上线时间： | 2021年10月28日 |
| 浏览次数： | 2594 |
| 下载次数： | 525 |
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